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发明涉及一种高精度反射镜角度的测量设备以及测量方法,包括:载物台模块、测量目标板、角度尺模块以及测量臂模块。载物台模块自上而下依次包括顶部设有中心凹点的载物台、调节台以及倾角调节台;位置调节台被设置为至少能够在水平方向以及高度方向调节载物台的位置;测量目标板垂直于X方向设置且设有在Y方向延伸的0°水平基准线;角度尺模块包括角度尺以及激光水平仪;角度尺包括支撑部以及设于支撑部上的测量部;支撑部水平设置,测量部上设有圆弧形的固定刻度;测量臂模块包括转动支架以及发射单元,转动支架的外侧设有圆弧形的游标
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117470070A
(43)申请公布日2024.01.30
(21)申请号202311626827.9
(22)申请日2023.11.30
(71)申请人苏州玖物智能科技股份有限公司
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