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本发明公开了一种功率器件的金属互连结构，第一金属互连层的第一金属图形形成有器件单元结构的金属电极，金属电极包括和多晶硅栅连接的呈叉指状的金属栅极和叉指间的第二金属电极。金属栅极呈叉指状并作为栅极电阻的调节结构。第二金属互连层包括呈块状的第二金属图形。同一金属栅极的各叉指之间的各第二金属电极都连接到同一个由第二金属图形组成的第一金属块。第一金属块的最小宽度大于封装要求值并作为封装引脚。本发明还公开了一种功率器件的金属互连结构的制造方法。本发明能增加金属栅极的叉指的数量并从而减少栅电阻，还能实现很好
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117476598A
(43)申请公布日2024.01.30
(21)申请号202311272287.9
(22)申请日2023.09.28
(71)申请人深圳尚阳通科技股
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