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本发明公开了一种芯片测试座自动清洁装置，该清洁装置包括测试座和清洁头，测试座的顶面设有凹槽，凹槽的底部设有多个探针，凹槽的侧壁上设有至少一水平设置的条形孔，测试座的外壁设有至少一气孔，气孔和条形孔一一对应连通；清洁头位于测试座的上方，用于对凹槽和多个探针进行清洁。本发明的技术方案中，气孔与条形孔连通，气孔可连接外部抽气装置，形成抽气气路，在清洁头对凹槽的内壁和探针进行清洁时，抽气气路对凹槽抽气，将清洁过程中的污染物带出测试座，避免污染物影响芯片测试的准确率，从而提升了芯片测试的良率和芯片生产效率
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117463652A
(43)申请公布日2024.01.30
(21)申请号202311640702.1B08B9/087(2006.01)
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