原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种基于视觉检测的半导体器件表面除尘方法及其系统，该方法包括：采集半导体器件的实时图像，将实时图像与预设基准图像匹配对比，从而得到半导体器件表面上灰尘异物的位置信息以及灰尘异物图像；根据灰尘异物图像的面积大小拾取对应规格的除尘棒，并根据灰尘异物的位置信息，驱动除尘棒与灰尘异物进行接触并粘除。采用图像识别方式，快速识别半导体器件表面的灰尘异物，根据实时获取的灰尘异物图像选择最匹配的除尘棒接触并粘除，这样可以做到快速地完成除尘工作，同时除尘棒消耗最少，且由于半导体器件在除尘时与除尘棒接触
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117470104A
(43)申请公布日2024.01.30
(21)申请号202311781372.8
(22)申请日2023.12.22
(71)申请人中科见微智能装备
文档评论（0）