1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

环境可控的传送模块和处理系统.pdfVIP

  • 3
  • 0
  • 约3.48万字
  • 约 30页
  • 2024-01-31 发布于四川
  • 举报

环境可控的传送模块和处理系统.pdf

    本文提供用于处理基板的方法和装置。在一个实施方式中，装置包括耦接至传送腔室的装载锁定腔室。传送腔室耦接至热处理腔室，并且基板在装载锁定腔室、传送腔室和热处理腔室中的各个之间传送。在其他实施方式中，公开具有装载锁定腔室、传送腔室和热处理腔室的处理平台。本文也描述经由传送腔室的抽空测量装载锁定腔室中的氧浓度的方法。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN108538747A

    (43)申请公布日

    2018.09.14

    (21)申请号20171

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >