原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供一种掩模版上载装置及方法，装置包括托盘、定位组件、第一吸附组件、升降机构和第二吸附组件，定位组件设置在托盘上，用于将掩模版固定在托盘的预设位置并使掩模版仅可向上移动，第一吸附组件设置在托盘上且位于掩模版下方，升降机构设置在第一吸附组件下端以驱动第一吸附组件上升以带动掩模版上升，掩模版上升过程中，第一吸附组件对其进行吸附，无需额外的工装即可完成上载过程，操作简单，有效提升效率，且定位组件固定设置在托盘上，重复上载过程中，定位组件和固定机构均无需拆下，可实现高精度的重复上载。本发明无需额外
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117465979A
(43)申请公布日2024.01.30
(21)申请号202311573113.6
(22)申请日2023.11.23
(71)申请人苏州盛拓半导体科技有限公司
地址
文档评论（0）