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2024-01-31 发布于四川
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光电极微探针及其制备方法.pdf

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本申请涉及一种光电极微探针及其制备方法。本申请的光电极微探针包括发光二极管结构。发光二极管结构包括蓝宝石衬底，以及依次层叠设置于蓝宝石衬底的表面上的分布式布拉格反射镜层、n型氮化镓层、量子阱层及p型氮化镓层。上述光电极微探针中，在传统的光电极微探针用发光二极管结构中，设置了位于n型氮化镓层和蓝宝石衬底之间的分布式布拉格反射镜层，该分布式布拉格反射镜层能够对量子阱层发出的朝向蓝宝石衬底的光进行反射，有效的降低发光二极管结构中蓝宝石衬底的漏光，进而减少光电极微探针中的背面和侧面漏光，增强光电极微探针

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117476830A

(43)申请公布日2024.01.30

(21)申请号202311814056.6G01N27/30(2006.01)

(22)申请日2023.12.

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