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2024-01-31 发布于四川
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本实用新型涉及晶圆扩片机，包括：机架、压膜装置和载物装置；载物装置包括放置台、升降台和压合环，放置台连接于机架，用于定位晶圆膜，升降台可上下移动地穿设于放置台，当晶圆膜被扩张前，升降台用于将扩片外环定位于晶圆膜的下方，压合环可开合地连接于放置台，当压合环与放置台闭合时，压合环用于固定晶圆膜边缘并定位扩片内环；压膜装置架设于机架上端，压膜装置包括下压盘，下压盘能相对于机架向下移动扩张晶圆膜并压紧扩片内环；当晶圆膜被扩张后，升降台还用于向上移动将扩片外环嵌套于扩片内环外，以使扩片外环和扩片内环相互配

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220420562U

(45)授权公告日2024.01.30

(21)申请号202323571641.6

(22)申请日2023.12.27

(73)专利权人深圳市米珈来智能装备有限公司

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