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本实用新型公开了一种应用于半导体低温泵氦气端固定装置，包括装置本体，所述装置本体包括腔体和固定块，所述固定块呈内部内贯通式结构，所述腔体安装在固定块内；所述固定块呈D字状结构，所述固定块右侧开设有第一卡口，所述固定块顶部上侧开设有第二卡口，所述第一卡口和第二卡口均呈矩形状结构，所述固定块开设有若干组主固定孔和辅助固定孔，所述主固定孔直径大于辅助固定孔且主固定孔位于辅助固定孔内侧。该种装置可以有效地对低温泵氦气端与气缸进行连接，从而提高两者之间的稳定性，防止两者出现松动的情况发生。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220415629U
(45)授权公告日2024.01.30
(21)申请号202321860425.0
(22)申请日2023.07.16
(73)专利权人上海优尊真空设备有限公司
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