原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种硅片料框，用于盛装转运硅片单元，硅片单元包括晶托和粘贴在晶托上待分离的多片硅片，多片硅片划分为多个硅片组，料框的框架上设有夹紧组件，夹紧组件包括多个沿盛装空间的长度方向依次布置的夹紧部，多个夹紧部与多个硅片组一一对应，以夹紧对应的硅片组，夹紧部的旁侧设置解锁装置，多个夹紧部随着料框与解锁装置之间的相对运动而依次与解锁装置接触，解锁装置用于向夹紧部施加外力以使夹紧部远离对应的硅片组。该料框能够实现对每个硅片组的独立夹紧及解除夹紧，降低人工介入，提高作业效率，避免硅片受损。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117476513A
(43)申请公布日2024.01.30
(21)申请号202311721522.6
(22)申请日2023.12.14
(71)申请人盐城厚泽锦业技术有限公司
地址
文档评论（0）