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2024-01-31 发布于四川
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本实用新型的一种石英舟扩散升降机构，包括柜体，在柜体上设置有对石英舟及硅片进行收储的收储机构、对收储机构进行输送的输送机构和将硅片转运至石英舟上的升降机构；所述的输送机构包括输送机构安装架、输送辊、对硅片进行输送的输送带Ⅰ及对石英舟进行输送的输送带Ⅱ；所述的升降机构包括升降安装柱、水平位移动力机构、升降板、竖向位移动力机构、承载板和若干根吸附管；收储机构可对硅片及石英舟进行承载，并通过输送机构将硅片及石英舟输送至升降机构的正下方，由升降机构上的吸附管将收储盒Ⅰ上的硅片吸附并转移至收储盒Ⅱ上的石英

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220420549U

(45)授权公告日2024.01.30

(21)申请号202321634954.9

(22)申请日2023.06.27

(73)专利权人东海县艾尔法石英制品有限公司

地

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