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2024-01-31 发布于四川
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本申请提供了一种卡盘清洁方法及相关装置，所述方法包括：获取卡盘上的异物位置、异物大小和异物数量；根据异物大小和异物数量确定吹气装置的目标吹气参数；根据异物位置和目标吹气参数确定目标吹气路径；获取测试仓内的测试温度、测试湿度以及测试仓外的环境温度，以及获取卡盘与气体温度调节装置之间的目标距离；根据测试温度、环境温度和目标距离确定由吹气装置吹出来的气体的目标气体温度；根据目标吹气量和测试湿度确定目标气体湿度；根据目标气体温度、目标气体湿度和目标吹气参数确定目标气体的目标属性参数；根据目标属性参数配置

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117472126A

(43)申请公布日2024.01.30

(21)申请号202311811162.9

(22)申请日2023.12.27

(71)申请人深圳市森美协尔科技有限公司

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