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T/ZZB3539—2023
单晶硅棒磨倒一体机
1范围
本文件规定了单晶硅棒磨倒一体机的基本参数、规格和型号、基本要求、技术要求、试验方法、检
验规则、标志、包装、运输和贮存及质量承诺。
本文件适用于加工边距尺寸为156mm～240mm的单晶硅棒的磨倒一体机（以下简称“磨倒一体机”）。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，
仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本
文件。
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3术语和定义
GB/T14264界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
单晶硅棒磨倒一体机mono-silicongrindingandchamferingintegratedmachine
集磨面和棱边倒角功能于一体的单晶硅棒加工设备。
4基本参数
磨倒一体机的基本参数应符合表1的规定。
1
T/ZZB3539—2023
表1基本参数
项目名称参数
磨头粗磨砂轮/个2
磨头精磨砂轮/个2
磨头
磨削主轴最高转速/（r/min）≥3000
驱动方式每个砂轮可独立控制
油石数量/个2
加工边距尺寸/mm156～240
5型号
磨倒一体机型号编制规则如下：
XXMDXXX
版本号采用大写英文字母表示，分为A、B、C
磨削高度，采用阿拉伯数字表示，单位为毫米(mm)
产品代号，MD表示磨倒一体机
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