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2023年微波集成电路AL2O3基片项目规划设计方案.docx

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    微波集成电路AL2O3基片项目规划设计方案

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    微波集成电路AL2O3基片项目规划设计方案

    目录

    TOC\h\z43概论 3

    30428一、微波集成电路AL2O3基片项目绩效评估 3

    14747(一)、绩效评估指标 3

    21013(二)、绩效评估方法 4

    9976(三)、绩效评估周期 5

    19471二、工艺说明 7

    13689(一)、技术管理特点 7

    25436(二)、微波集成电路AL2O3基片项目工艺技术设计方案 8

    32446(三)、设备选型方案 9

    21290三、微波集成电路AL2O3基片项目文档管理 11

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