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- 2024-02-03 发布于四川
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本发明涉及一种表面改性的高三价铈含量铈基稀土抛光粉及制备方法，该铈基稀土抛光粉的颗粒表面具有高比例三价铈含量，所述铈基稀土抛光粉颗粒表面的三价铈比例为5.0‑50.0％，所述铈基稀土抛光粉的颗粒表面含有氧化镨，所述铈基稀土抛光粉颗粒表面的氧化镨含量为0.01‑7.00％。与现有技术相比，本发明满足不同曲率玻璃、先进集成电路日益严格的抛光精度要求及高选择比抛光要求。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117487462A
(43)申请公布日2024.02.02
(21)申请号202311229693.7
(22)申请日2023.09.22
(71)申请人上海理工大学
地址200093
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