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本发明涉及三轴陀螺仪技术领域，公开一种抑制交叉轴耦合的三轴MEMS陀螺仪,包括驱动结构、第一方向检测结构、第二方向检测结构及第三方向检测结构，驱动结构包括驱动电极和驱动连接框，第一方向检测结构包括第一连接弹性件和第一质量块，第二方向检测结构包括第一过渡框和第二质量块，第三方向检测结构包括第二过渡框、第三质量块及第三方向检测电极；第一质量块和与其正对的衬底形成的第一方向检测电极用于检测第一方向的角速度，第二质量块和与其正对的衬底形成的第二方向检测电极用于检测第二方向的角速度，第三方向检测电极用于检
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117490673A
(43)申请公布日2024.02.02
(21)申请号202410002790.0
(22)申请日2024.01.02
(71)申请人南京元感微电子有限公司
地址2
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