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一种加速器及其束流路径在线监测装置.pdfVIP

一种加速器及其束流路径在线监测装置.pdf

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    本发明公开一种束流路径在线监测装置，环状光阑的中间设置用于通过电子流的束流通道；环状光阑上沿周向均匀设置多个温度传感器，各温度传感器距离环状光阑中心的距离相等，环状光阑中心对正束流通道；温度传感器的信号传递至监测器。电子束从环状光阑中心位置通过时，环状光阑周向的温度基本保持相同；若电子束偏移，则距离各个温度传感器的距离发生变化，监测器根据各温度传感器的监测温度的变化判断电子束是否发生了偏移。本发明的环状光阑套装在束流通道中，对电子的正常运行不产生影响，可实现在线监测；环状光阑构成束流通道的一部分

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN107155257A

    (43)申请公布日

    2017.09.12

    (21)申请号20171

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