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一种用于硅片加工的喷淋冲洗装置.pdfVIP

一种用于硅片加工的喷淋冲洗装置.pdf

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    本发明涉及硅片加工技术领域，具体为一种用于硅片加工的喷淋冲洗装置，包括硅片清洗喷淋池，所述硅片清洗喷淋池的上方设置有硅片固定花篮架，所述硅片固定花篮架的下方设置有硅片夹持架，所述硅片清洗喷淋池的两侧外表面上方分别设置有与硅片固定花篮架相适配的卡接口；有益效果为：硅片固定花篮架与硅片夹持架配合可以将硅片进行悬吊，硅片固定花篮架与硅片清洗喷淋池卡接使硅片可以进行冲洗喷淋，硅片夹持架内侧可以均匀等距摆放硅片，且硅片夹持架的角度可以变换使硅片在喷淋冲洗过程中可以左右摆动一定角度使水流冲洗到整片硅片，通过

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117497453A

    (43)申请公布日2024.02.02

    (21)申请号202311500745.X

    (22)申请日2023.11.10

    (71)申请人江苏芯诺半导体科技有限公司

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