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一种带有定转电极组的等离子体引发聚合装置，属于等离子体技术领域，用于在基材表面制备聚合物涂层。该装置中固定金属直杆通过绝缘基座沿真空室轴向等间距固定连接在真空室内壁上，固定金属直杆经导线串联连接构成固定电极；转动金属直杆沿真空室轴向等间距固定连接在金属转架上，构成转动电极；固定电极连接高频电源输出端，转动电极接地。工作时，开启高频电源使之连续输出高频功率，并使转动电极转动。转动电极的周期性靠近和远离固定电极，从而产生周期性燃灭的等离子体。本发明的高频电源不需要脉冲调制，结构简单、价格低、调试容易
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN106961779A
(43)申请公布日
2017.07.18
(21)申请号20171
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