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一种宽频薄膜热电变换器及其制备方法.pdfVIP

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  • 2024-02-03 发布于四川
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一种宽频薄膜热电变换器及其制备方法.pdf

    一种宽频薄膜热电变换器的制备方法，包括以下步骤：1）在第一基底上设置隔热层，在隔热层上制备多个薄膜热电偶，各薄膜热电偶串联形成宽频薄膜热电变换器的感温单元，退火；2）在陶瓷基底上设置金属薄膜加热体，形成宽频薄膜热电变换器的加热单元，退火；3）采用倒装芯片键合工艺将加热单元与感温单元键合，使感温单元隔热层上各薄膜热电偶的热端与加热单元的陶瓷面接触，形成宽频薄膜热电变换单元；4）将宽频薄膜热电变换单元置于封装载体上，使宽频薄膜热电变换单元通过引线与封装载体上的电极连接，然后进行封装。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117500352A

    (43)申请公布日2024.02.02

    (21)申请号202311210120.XH10N10/17(2023.01)

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