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2024-02-03 发布于四川
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一种全自动晶圆盒开盒及抓取设备包括安装架，检测仓，料口，检测工作台机构，传输机构。所述传输机构包括传输升降组件，转动臂组件，以及夹持组件。所述夹持组件包括夹持支架，夹持装置，以及转动驱动装置。所述夹持支架包括支架主体，转动支架，安装板。所述夹持装置包括一个转动连接件，滑动夹爪，连接杆，以及夹持驱动气缸。所述转动驱动装置包括驱动电机，主动驱动轮，从动驱动轮，传动轮，以及驱动杆。当所述驱动电机驱动所述主动驱动轮转动时，所述主动驱动轮驱动所述从动驱动轮转动，所述从动驱动轮带动所述驱动杆活动，从而所述驱

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117497467A

(43)申请公布日2024.02.02

(21)申请号202311492446.6

(22)申请日2023.11.09

(71)申请人浙江赛瑾半导体科技有限公司

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