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本发明涉及一种三坐标仪检测装置,包括底板、设于所述底板上并用于检测工件三维尺寸的光栅测距装置、设于所述底板上的三维移动组件、与所述光栅测距装置连接的数据处理器以及与所述数据处理器连接的电脑,所述三维移动组件包括沿Y轴方向移动的竖板、设于所述竖板上并沿X轴方向移动的移动台、以及设于所述移动台上并沿Z轴方向移动的工件放置位。与现有技术相比,本发明将三维移动组件和光栅测距装置结合,实现了高精度的三维几何尺寸测量,降低了测量误差。利用驱动位移测量方法,能够在短时间内获得工件的完整几何尺寸数据,提高了测量
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117490618A
(43)申请公布日2024.02.02
(21)申请号202311616593.X
(22)申请日2023.11.30
(71)申请人核工业第八研究所
地址2018
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