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一种薄膜测试装置.pdfVIP

一种薄膜测试装置.pdf

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    本发明涉及材料科学领域，一种薄膜测试装置，包括光纤传感器、反射镜、探头、透镜探针、电晕探针、高压恒流源、金属罩、栅网、位移台、直流电源、电压源、样品台、接地环电极、主电极、显微镜物镜、计算机、电流计和电流控制器，采用悬臂偏向的方法并结合半球形透镜探针，能够对样品表面进行切向和法向的力学测量，能够在对样品表面进行切向和法向的力学测量，结合对样品进行的实时原位成像能够计算出样品的体积弹性模量，对有较大形变量的薄膜表面进行成像的效果较好，提高了测量精度，另外，对薄膜进行电学测量时的充电过程较快且易控制

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN109115606A

    (43)申请公布日

    2019.01.01

    (21)申请号20181

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