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一种超高纯石英砂高效生产方法.pdfVIP

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  • 2024-02-03 发布于四川
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一种超高纯石英砂高效生产方法.pdf

    本发明公开了一种超高纯石英砂高效生产方法，将3N级石英砂装入管式焙烧炉内，将管式炉两端密封并调控炉腔内负压后，注入氯化剂通过微波加热进行氯化焙烧，氯化焙烧完成后，冷却，即得4N5级以上石英砂。该方法基于石英砂中杂质组分的物化特性及其与氯化剂反应热力学和动力学行为，调控反应体系的压力，并采用外场加热强化石英砂内微裂纹的产生和扩展，促进氯化剂与杂质间的氯化反应和挥发脱除，实现石英砂的高效快速深度除杂,该方法具有工艺流程简单、焙烧温度较低、氯化剂用量少、杂质组分脱除效率高等优点，可以获得4N5及以上等

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117486220A

    (43)申请公布日2024.02.02

    (21)申请号202311209195.6

    (22)申请日2023.09.19

    (71)申请人中南大学

    地址410083

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