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作为磊晶模板的单晶晶圆表面的制法、磊晶模板及装置.pdfVIP

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  • 2024-02-03 发布于四川
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作为磊晶模板的单晶晶圆表面的制法、磊晶模板及装置.pdf

    本发明涉及一种作为磊晶模板的主体基板表面的制法、磊晶模板及包括这种磊晶模板的装置。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117500962A

    (43)申请公布日2024.02.02

    (21)申请号202180099450.9(74)专利代理机构华进联合专利商标代理有限

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