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微机电系统工程专业毕业设计论文：基于MEMS动态压力传感器的风洞试验系统设计与实现

基于MEMS动态压力传感器的风洞试验系统设计与实现

摘要：

本文基于微机电系统(MEMS)技术，设计和实现了一种基于MEMS动态压力传感器的风洞试验系统。该系统利用MEMS传感器测量风洞内的动态压力，并通过数据采集、处理和显示模块实时监测和记录压力数据。通过实验验证，该系统具有较高的测量精度和稳定性，可广泛应用于风洞试验中。

关键词：微机电系统，MEMS传感器，动态压力，风洞试验

1.引言

风洞试验是现代航空、航天、汽车等领域重要的工程实验手段。在风洞试验中，动态压力是评估模型飞行性能和安全性的重要参数之一。传统的风洞试验系统通常使用压力传感器来实时测量压力变化。然而，传统压力传感器存在体积大、响应速度慢和价格高等问题。而MEMS技术的出现为风洞试验系统的设计和实现带来了新的可能性。

2.MEMS动态压力传感器的原理

MEMS动态压力传感器利用压阻效应来测量压力变化。当压力施加在传感器的薄膜上时，薄膜产生压电效应，进而改变薄膜电阻。通过测量电阻的变化，可以得到压力的大小。此外，MEMS动态压力传感器具有体积小、响应速度快、价格低廉等优点，使其成为风洞试验中理想的压力测量传感器。

3.风洞试验系统的设计

本文设计的基于MEMS动态压力传感器的风洞试验系统主要由传感器模块、数据采集模块、信号处理模