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2023年ITO靶材项目规划设计方案.docx

2023年ITO靶材项目规划设计方案.docx

    ITO靶材项目规划设计方案

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    ITO靶材项目规划设计方案

    目录

    TOC\h\z28961概论 3

    32173一、工艺说明 3

    4561(一)、技术管理特点 3

    5699(二)、ITO靶材项目工艺技术设计方案 4

    15296(三)、设备选型方案 5

    4733二、产品规划分析 7

    22940(一)、产品规划 7

    32622(二)、建设规模 7

    17624三、ITO靶材项目土建工程 9

    5796(一)、建筑工程设计原则 9

    10002(二)、土建工程设计年限及安全等级 10

    24709(三)、建筑工程设计总体要

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