原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本实用新型公开了一种半导体晶圆清洗结构，包括安装座、吊篮、竖向导杆、横向导杆、竖向滑块、横向滑块、摆臂、电机和安装杆，所述竖向导杆固定于安装座上，横向导杆通过竖向滑块滑动连接在竖向导杆上，横向滑块滑动连接在横向导杆上，摆臂的一端与电机的转轴相连，另一端与横向滑块滑动连接，在安装座上设有U形槽，安装杆水平穿过U形槽并与横向滑块相连，吊篮与安装杆固定连接。本实用新型通过结构的设计，使用一个电机就能实现吊篮在酸槽与水槽之间来回运动，控制固定简单，机械装配结构稳定性好，便于维护，使用效果好。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220456367U
(45)授权公告日2024.02.06
(21)申请号202322089911.3
(22)申请日2023.08.04
(73)专利权人南京攀诺德自动化设备有限公司
地
文档评论（0）