原创力文档- 4
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- 2024-02-07 发布于四川
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描述了用于预测光刻设备的物体保持器的突节的物理状况的实施例。提供突节的图像作为机器学习(ML)模型的输入以产生对突节的物理状况的预测。可以使用各种ML模型来产生预测。第一ML模型使用第一类型的突节数据(例如，突节的高分辨率图像)来产生预测。第二ML模型使用第二类型的突节数据(例如，突节的高分辨率图像或突节的低分辨率图像的子集)来产生预测。第三ML模型使用第三类型的突节数据(例如，指示物体保持器的表面的性质的突节的表面描述性参数)来产生预测。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117529692A
(43)申请公布日2024.02.06
(21)申请号202280044076.7H·J·A·恩格维达
(22)申请日2022.05.2
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