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本发明公开了一种针对氮化铝陶瓷基板自动化清洗装置及其方法，所述清洗装置本体包括：第一清洗机构、第二清洗机构、可移动清洗单元、烘干机构和电路单元；所述电路单元控制第一清洗机构、第二清洗机构、可拆卸清洗机构和烘干机构的联动，其中：所述第一清洗机构通过清洗液去除激光切割后氮化铝陶瓷基板上的杂质或黑边；所述第二清洗机构通过喷淋方式对氮化铝陶瓷基板进行冲洗；所述烘干机构通过加热方式对氮化铝陶瓷基板表面烘干备用；所述可移动清洗机构根据清洗要求将氮化铝陶瓷基板送至指定位置；所述可移动清洗机构包括清洗花篮和抓取
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117505371A
(43)申请公布日2024.02.06
(21)申请号202311631170.5B08B3/02(2006.01)
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