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一种具有上下料功能的晶圆用解UV机.pdf

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    本实用新型提供了一种具有上下料功能的晶圆用解UV机，包括安装在机台上的解UV机本体，所述解UV机本体上具有用于放置晶圆片的抽拉式放料抽屉，所述解UV机本体上还具有推杆电机，所述推杆电机的推杆端部和抽拉式放料抽屉相连，所述机台上安装有立柱，所述立柱上设置有升降座，所述升降座与一能使其上下移动的驱动结构相连，所述升降座上通过可拆卸的方式安装有晶圆片储存盒，所述机台上固定有安装杆，所述安装杆上固定有动力电机，且动力电机的输出轴竖直布置，所述动力电机为双输出轴电机，所述动力电机的输出轴端部均固定有连接板

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220456363U

    (45)授权公告日2024.02.06

    (21)申请号202322046276.0

    (22)申请日2023.08.01

    (73)专利权人浙江联康沃源电子股份有限公司

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