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2024-02-07 发布于四川
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一种金属粉体表面绝缘层的制备方法.pdf

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本发明涉及金属表面绝缘层技术领域，公开了一种金属粉体表面绝缘层的制备方法，其技术方案要点是所述的方法包括以下步骤：S1：将粉体浸入乙醇溶液进行超声波激励，再浸入去离子水进行超声波清洗，然后放到真空干燥箱中进行烘干处理；S2：将预处理之后的粉体放入包覆粉体制备箱体中，安装至载物圆盘上，然后安装靶材溅射源(是否有数量要求)，关闭磁控溅射室，开启真空抽气系统进行真空抽取；S3：当真空抽取达到背景真空8.0×10‑4Pa后，打开氩气阀门，通入氩气，然后打开靶材溅射电源，对靶材进行预溅射，除去靶材表面附着

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117512516A

(43)申请公布日2024.02.06

(21)申请号202311566707.4C23C14/58(2006.01)

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