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2024-02-07 发布于四川
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一种利用压力差的孔蚀刻装置.pdf

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本实用新型公开了一种利用压力差的孔蚀刻装置，包括箱体，箱体内壁连接分区板，箱体根据分区板分为蚀刻箱和储液箱，分区板的上壁放置产品，分区板对应产品开设通液孔，所述蚀刻箱和储液箱之间通过连通管和过溢管连通，连通管侧壁连接抽液泵，储液箱侧壁连通排气管，连通管、排气管和过溢管侧壁均连接调节阀。本实用新型结构简单，通过产品掩盖通液孔的基础上，使储液箱形成封闭空间，在抽液泵的作用下，实现了储液箱与蚀刻向之间压力差的形成，使产品在蚀刻溶液自身蚀刻的基础上，增加了来自储液箱内部负压的作用力，进一步的提高了装置对

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220450300U

(45)授权公告日2024.02.06

(21)申请号202322079874.8

(22)申请日2023.08.02

(73)专利权人安徽四象半导体材料科技有限公

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