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一种显示面板的制造方法及显示面板.pdfVIP

一种显示面板的制造方法及显示面板.pdf

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    本申请实施例公开了一种显示面板的制造方法及显示面板，包括如下步骤：提供一基底；在基底上形成半导体层；在半导体层上形成栅极绝缘层；在栅极绝缘层上形成栅极；以栅极作为自对准光罩进行离子植入，在半导体层的两端形成两重掺杂区；以栅极作为自对准光罩进行倾斜方向的离子植入，在沟道和两重掺杂区之间分别形成两轻掺杂区。本申请不需要额外的光罩就可以进行掺杂，节省了工艺步骤和成本。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117524857A

    (43)申请公布日2024.02.06

    (21)申请号202310127654.XH01L21/265(2006.01)

    (22)申请日2023.02

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