一种消除导电原子力显微镜中形貌串扰的方法.pdfVIP

一种消除导电原子力显微镜中形貌串扰的方法.pdf

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本发明一种消除导电原子力显微镜中形貌串扰的方法,通过确定串扰误差电流与形貌之间的具体关系、扫描图像后,在同一位置做一个力曲线、分析力曲线得到的高度和电流数据,对高度求一阶导得到dH/dt,对电流I和高度一阶导dH/dt拟合得到斜率也就是比例系数k、将需要处理的原始电流信息减去k倍的形貌图对时间的一阶导数,能消除形貌串扰误差,成本较低。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117517716A

(43)申请公布日2024.02.06

(21)申请号202311449929.8

(22)申请日2023.11.02

(71)申请人河南大学

地址475000

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