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本发明提供了一种氢氟酸废液的回收装置及方法，所述回收装置包括氢氟酸废液储存单元、微纳米气泡发生器和分离单元，分离单元为内外层结构，外侧为壳体，内部为分离槽，两者之间留有空隙，分离槽的上部敞口；氢氟酸废液储存单元分两支分别与微纳米气泡发生器和分离槽相连，微纳米气泡发生器与分离槽相连，壳体顶部设有冷凝管路。本发明以微纳米气泡发生器为功能设备，生成微纳米气泡并以其为分离介质，再结合分离单元的结构，利用微纳米气泡的特性富集氢氟酸，到达溶液表面后气泡破裂，氢氟酸蒸发，再经冷凝得到氢氟酸溶液，氢氟酸的回收率
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117509799A
(43)申请公布日2024.02.06
(21)申请号202311807949.8
(22)申请日2023.12.26
(71)申请人苏州晶洲装备科技有限公司
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