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- 2024-02-07 发布于四川
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本发明提供的一种基于旋转反射镜的激光光斑在线测量装置及方法,用于解决现有激光光斑测量技术很难实现激光光斑的在线测量,以及BeamWatch产品在实现激光光斑的在线测量的过程中易受散射光的干扰以及测量分辨率及精度较低的技术问题。本发明提供的激光光斑在线测量装置包括旋转机构、反射镜、光学相机及激光器;激光器用于出射待测激光或待测激光的指示光;旋转机构用于带动反射镜绕反射镜中心轴旋转;反射镜上镀有高反射率介质膜,用于使待测激光入射至高反射率介质膜表面后,在高反射率介质膜表面产生漫反射光;光学相机的镜头
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117516874A
(43)申请公布日2024.02.06
(21)申请号202311313538.3
(22)申请日2023.10.11
(71)申请人西北核技术研究所
地址7100
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