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本发明公开了一种高增益电子倍增器及其制作方法，电子倍增器包括设置在屏蔽外壳内部的N级分离打拿极、收集极以及N个相互串联的分压电阻；前N‑1个分压电阻分别连接在相邻的两级分离打拿极之间，最后一个分压电阻连接在最末级分离打拿极和地之间；打拿极包括扇形结构的基架盒，基架盒由一个弧形基底以及两个扇形侧壁组成；在弧形基底与两个扇形侧壁上分别设置有弧形衬底片和两个扇形片，弧形衬底片和两个扇形片的表面均沉积有二次电子发射薄膜；N级分离打拿极沿着二次电子行进轨迹的方向依次分布，收集极布置在最末级分离打拿极发射二
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117524829A
(43)申请公布日2024.02.06
(21)申请号202311582945.4
(22)申请日2023.11.24
(71)申请人西安交通大学
地址710049
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