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碎屑判定方法.pdfVIP

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  • 2024-02-07 发布于四川
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碎屑判定方法.pdf

    本发明是一种碎屑判定方法，根据通过外观检查装置得到的图像判定在晶圆背面的HLM周边产生的碎屑，该方法将图像的亮度数据置换为矩阵数据，提取HLM的印字区域，求出亮度的最小平方面，从印字区域减去最小平方面而求出标准化矩阵数据，将0代入该小于0的矩阵值而求出凸侧矩阵数据，将标准化矩阵数据的符号翻转，并将0代入表示点与噪声的矩阵值而求出凹侧矩阵数据，根据凸侧·凹侧矩阵数据求出合成矩阵数据，对合成矩阵数据进行处理而求出低通矩阵数据，使用规定的阈值从低通矩阵数据判定碎屑，求出碎屑的面积比例，并判定印字区域中

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117529654A

    (43)申请公布日2024.02.06

    (21)申请号202280044051.7(74)专利代理机构北京路浩知识产权代理有限

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