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2024-02-07 发布于四川
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本发明提供了一种叶片结构和机械臂，涉及半导体技术领域，叶片结构，应用于用于转运硅片的机械臂，叶片结构包括：叶片本体，包括连接片以及与连接片的一边相连支撑片；其中，连接片与机械臂的转动轴连接；支撑片的上表面设置多个支撑点，支撑点相对于支撑片的上表面向上凸出，多个支撑点用于支撑硅片；在通过支撑点支撑所述硅片时，每个支撑点与硅片边缘之间的最短距离小于硅片半径的一半。本发明方案支撑点支撑硅片，减少叶片与硅片的接触面积，以及调整颗粒的产生位置(即叶片和硅片的接触位置)与硅片边缘的距离，增加产生的颗粒到达硅

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117507010A

(43)申请公布日2024.02.06

(21)申请号202311763493.X

(22)申请日2023.12.20

(71)申请人西安奕斯伟材料科技股份有限公司

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