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本发明提供了一种轻掺外延片掺杂气体的混气装置及方法，所述外延片掺杂气体的混气装置，包括混气腔，进气口，出气口、涡轮以及加热管等；应用此装置所进行的混气方法为，先利用平衡气体充满混气腔，在分布混合掺杂气体的方式，同时通过加热与搅拌等方式均匀混合气体，并根据气体特性调整加热温度，从而得到可使用的轻掺气体，降低轻掺外延片的生产成本。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117504630A
(43)申请公布日2024.02.06
(21)申请号202311767944.7
(22)申请日2023.12.21
(71)申请人上海超硅半导体股份有限公司
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