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一种晶圆自动贴膜机及贴膜工艺.pdfVIP

一种晶圆自动贴膜机及贴膜工艺.pdf

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    本发明公开一种晶圆自动贴膜机，其包括搬运机构、上料料仓、供料机构、相机定位组件、暂存机构、贴膜平台、贴膜机构和裁切机构，暂存机构包括暂存平台，暂存平台用于承载晶圆，相机定位组件被配置为获取晶圆的位置信息，贴膜机构被配置为贴膜料，上述晶圆自动贴膜机采用相机定位组件取代传统的晶圆寻边器，贴膜平台集多功能于一体，能一次性将产品贴膜完成，无需分多次在不同设备上贴膜，大大提高了生产效率，降低了晶圆贴膜后的损坏率，同时减低了生产成本，不仅结构简单、设计巧妙，而且一次性可以对晶圆贴两层甚至更多层膜，同时也可以

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117524943A

    (43)申请公布日2024.02.06

    (21)申请号202311794543.0

    (22)申请日2023.12.25

    (71)申请人无锡沃格自动化科技股份有限公司

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