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《真空技术基础》ppt课件

目录contents真空技术概述真空的基本性质真空的获得与保持真空技术的应用实例未来真空技术的发展趋势与展望

01真空技术概述

真空技术是一门研究气体稀薄环境下的物理现象、化学现象和力学现象的科学技术，涉及到真空环境的产生、测量和控制等方面的应用。真空环境是指气体压力低于一个大气压的环境，具有低气体压力、高气体稀薄度、无菌等特点。真空技术的定义真空环境的特点真空技术定义

真空技术在电子行业中广泛应用于电子器件的制造和封装，如集成电路、液晶显示器、太阳能电池等。电子行业真空技术在航空航天领域中用于模拟太空环境，进行航天器的真空热试验和空间环境模拟实验。航空航天真空技术在能源领域中用于核聚变、太阳能、风能等新能源的开发和利用，以及燃料电池的研发。能源领域真空技术在科学研究中广泛应用于物理、化学、生物学等领域，如表面科学、材料科学、医学诊断等。科学研究真空技术的应用领域

17世纪19世纪20世纪21世纪真空技术的发展历空泵的发明，实现了人工产生真空环境。真空技术在电弧放电和阴极射线管的研究中得到应用和发展。随着电子技术和航空航天技术的发展，真空技术得到了广泛的应用和发展。随着新能源和科学研究的需要，真空技术不断创新和发展，应用领域不断扩大。

02真空的基本性质

真空的物理性质真空中的气体分子分布在真空中，气体分子非常稀少，分布极不均匀，但仍然存在一定的分布规律。真空中的热传导由于气体分子极少，真空中热传导能力极差，热量传递主要依靠辐射方式进行。真空中的光传播由于真空中气体分子对光的吸收和散射作用极小，光在真空中传播时，其路径基本保持不变。

真空中的气体放电在真空中，气体放电现象与在空气中的放电现象有很大不同，其放电机制和特性需要特殊研究。真空对化学反应的影响真空环境对化学反应的速率、产物和反应机理等都有一定影响，需要针对具体反应进行深入研究。真空中的化学反应在真空中，由于气体分子极少，化学反应很难进行，但在高真空条件下，仍有可能发生某些化学反应。真空的化学性质

测量真空度的常用方法有直接测量法和间接测量法，其中直接测量法是通过测量气体压力来得到真空度，而间接测量法则通过测量其他物理量来推算真空度。真空测量方法国际上常用的真空单位有帕斯卡、托、巴等，这些单位是根据气体压力与大气压力之间的比例关系来定义的。真空单位真空计量在科学研究、工业生产和实验室等领域都有广泛应用，如高能物理、表面物理、电子器件制造等领域都需要精确测量和控制真空度。真空计量的应用真空的测量与单位

03真空的获得与保持

真空的获得方法利用机械方式通过气体压缩来获得真空，如旋片泵、滑阀泵等。利用气体分子在高速运动下产生的离心力来获得真空，如分子涡轮泵。通过高速离子撞击靶材表面，使气体分子从表面释放出来，如离子泵。通过加热使气体分子获得能量后扩散到冷凝表面，如热偶泵。机械真空泵分子真空泵溅射真空泵扩散泵

利用气体分子在电离室内的电离来测量真空度。皮拉尼真空计通过测量气体分子的热传导来计算真空度。热传导真空计利用气体分子在电容器电极板间的电容变化来测量真空度。电容真空计利用磁悬浮原理测量气体分子的压力。磁悬浮真空计真空的测量技术

选择合适的密封材料，如金属、橡胶、塑料等，以保证密封效果。密封材料密封结构气体净化定期维护设计合理的密封结构，如机械密封、磁力密封等，以保持密封状态。对进入系统的气体进行净化处理，以减少气体杂质对密封面的磨损和腐蚀。对密封件进行定期检查和维护，以保证密封效果和延长使用寿命。真空的保持与密封

04真空技术的应用实例

真空镀膜技术是一种在真空中将金属、非金属或化合物蒸气沉积在材料表面形成薄膜的工艺，广泛应用于光学、电子、机械、建筑等领域。总结词真空镀膜技术利用物理或化学方法，在材料表面形成一层具有特殊性能的薄膜，如高硬度、高耐磨性、高反射率等。这种技术广泛应用于眼镜、钟表、手机等产品的表面处理，提高产品的外观和性能。详细描述真空镀膜技术

总结词真空热处理技术是一种在真空中对金属材料进行加热和冷却处理，以达到改变材料性能的工艺。详细描述真空热处理技术可以避免传统热处理中存在的氧化、脱碳、渗碳等问题，提高金属材料的表面质量和性能。这种技术广泛应用于航空、航天、汽车等领域，用于制造高性能的零部件。真空热处理技术

总结词真空电子器件制造技术是一种利用真空中电子的运动和相互作用来制造电子器件的工艺，如电子管、晶体管等。详细描述真空电子器件制造技术需要在高真空条件下进行，以保证电子器件的性能和稳定性。这种技术广泛应用于电视、电脑、手机等电子产品中，是现代电子工业的基础之一。真空电子器件制造技术

真空在科研领域的应用广泛，如真空镀膜、真空热处理、真空电子器件制造等，为科学研究提供了重要的实验手段和基础条件。总