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2024-02-10 发布于四川
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一种半自动探针台晶圆测试系统.pdf

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本发明公开了一种半自动探针台晶圆测试系统，包括探针台模块和人机交互模块，所述探针台模块包括测试机台、晶圆卡盘模块、若干测试探针模块、数字化显微镜模块和屏蔽罩组件，人机交互模块则包括显示模块和操控模块。本发明通过在机台台面上端安装设置有屏蔽罩组件，若干测试探针模块规则布置安装在屏蔽罩组件的外围，并通过屏蔽罩组件侧边上开设的测试探针伸入口，将测试探针模块前端的测试探针从屏蔽罩组件上的测试探针伸入口伸入至屏蔽罩内部进行扎针测试工作。通过屏蔽罩组件可以有效的减少屏蔽微腔与外界环境的接触，从而确保屏蔽微腔

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117538728A

(43)申请公布日2024.02.09

(21)申请号202311483082.5G01R1/073(2006.01)

(22)申请日2023.11.

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