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2024-02-10 发布于四川
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一种多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯系统.pdf

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本发明涉及多晶硅生产设备技术领域，尤其涉及一种多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯系统，其包括:粗馏一级塔与冷氢化初分塔连通；低沸回收塔与粗馏一级塔连通；粗馏二级塔与粗馏一级塔连通；精馏一级塔与粗馏二级塔连通；高沸回收塔与精馏一级塔连通；精馏二级塔与精馏一级塔连通；精馏二级塔与粗馏一级塔连通；精馏三级塔与精馏二级塔连通；精馏三级塔的塔釜与精馏一级塔连通；脱轻塔与低沸回收塔和高沸回收塔分别连通；脱重塔与脱轻塔连通；高沸回收塔与脱重塔的塔釜连通；脱重塔的气相出口依次连接气相吸附装置和轻分塔；轻分塔的回流口

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117531220A

(43)申请公布日2024.02.09

(21)申请号202311808167.6B01J19/00(2006.01)

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