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本文公开了一种用于评估光刻设备的部件中的一个或更多个孔的孔性质的工具，所述工具包括：评估基底；流体供应装置，所述流体供应装置被配置为从所述一个或更多个孔中的每个孔向评估基底的第一表面供应流体射流，其中，在一流体温度下供应所述流体，使得一个或更多个流体射流在评估基底的至少一部分中引起局部温度变化；以及红外传感器，所述红外传感器被配置为依赖于所述局部温度变化感测评估所述基底的温度分布。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117546097A
(43)申请公布日2024.02.09
(21)申请号202280044395.8(74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任
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