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用于基板处理腔室的磁耦接RF滤波器.pdfVIP

用于基板处理腔室的磁耦接RF滤波器.pdf

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    一种用于处理半导体基板的半导体处理腔室可包括用于支撑基板的基座，其具有加热器区域和被配置为将射频(RF)信号输送至等离子体的金属丝网。腔室也可包括将电流输送至加热器区域的加热器区域控制件，以及在加热器区域控制件与加热器区域之间的滤波器电路。滤波器电路可包括在来自加热器区域的引线上的电感器，以及具有磁耦接至引线电感器的谐振电感器的谐振电路。谐振电路可产生谐振峰值，所述谐振峰值对从来自加热器区域的引线输送至金属丝网的RF信号进行滤波以防止RF信号到达加热器区域控制件。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117546266A

    (43)申请公布日2024.02.09

    (21)申请号202280044036.2(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公

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