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中测台及台上的喷墨式打点标记机.pdfVIP

中测台及台上的喷墨式打点标记机.pdf

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    本发明属于中测台领域，旨在提供一种中测台及台上的喷墨式打点标记机，其技术方案要点是包括标记装置，所述标记装置包括连接于台面上的用于向待标记零件喷出标记的喷墨头、与喷墨头相连通的气泵，所述喷墨头指向待标记零件，所述喷墨头内存储有能够被气泵挤出的墨液。在检测待标记零件，如晶圆片时，晶圆片被放置在中测台上，按坐标移动每一颗待测试芯片，已测芯片被分为合格品和不合格品，其中，不合格品需做标记，喷墨头向不合格芯片喷出墨液，对其进行标记。由于喷墨无需时间间隔，能够连续出墨，或保持出墨状态，移动晶圆片，即能够快

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN108387840A

    (43)申请公布日

    2018.08.10

    (21)申请号20181

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