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本实用新型提供了一种离子注入机，通过设置所述石墨防护组件包括第一石墨板和第二石墨板，所述第一石墨板与所述第二石墨板的一端可拆卸连接，且所述第一石墨板安装后的高度高于安装处金属壁面的高度，相对于现有技术中直接竖直放置石墨板进行防护的方案，不仅有效的增加防护区域，能够更好的保护金属壁面，降低了金属污染的风险，而且通过设置第一石墨板和第二石墨板可拆卸连接，能够根据石墨消耗的位置对相应的第一石墨板或第二石墨板进行更换，相对于现有需要更换整块石墨板的方式，有效的降低了生产成本。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220474565U
(45)授权公告日2024.02.09
(21)申请号202321925344.4
(22)申请日2023.07.20
(73)专利权人芯恩（青岛）集成电路有限公司
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