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本发明提供了复合位感图栅的大量程视觉位移测量装置及测量方法,测量装置包括位感图栅尺、位移测量滑动平台、成像模组、光源和图像处理系统;所述位感图栅预制于基尺表面;所述成像模组固定在滑块上沿滑轨可以进行直线往复运动;所述位移测量滑动平台安装于滑轨上;所述光源为相机模块提供可靠稳定的外部光环境;所述图像处理系统为处理相机模块采集通过图像传输模块传输至图像处理系统的位感图栅图像。本发明通过图栅条纹实现大直线位移的测量,可以低成本高效率地实现图栅尺制制作,可实现直线位移高效率、高精度的测量。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117537717A
(43)申请公布日2024.02.09
(21)申请号202311535027.6
(22)申请日2023.11.17
(71)申请人福州大学
地址350108
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